| Marke | Inficon |
| Produkt | SQM160-S-2-R |
| Beschreibung | Überwachen |
| Interner Code | IMP4010066 |
| Technische Spezifikation | SQM-160 Abscheidungsmonitor Standardauflösung (+/- 0,12 Hz bei 4 Messwerten/Sek.), 2 Kanäle, nur RS232 |
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