| Marke | Inficon |
| Produkt | SQM160-S-2-E |
| Interner Code | IMP3375234 |
| Gewicht | 10 |
| Technische Spezifikation | Komplettpaket zur Überwachung der Folienabscheidungsrate und -dicke SQM160-S-2-E Steuerung SQM 160 S2E - |
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Oszillator
6 MHz Gold, in clean-room compatible dispenser
Schüffelspitze
Sensor
Schnüffelsonde
Durchflusssensor (Mikroschalter)
ION SOURCE komplett
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Pirani Standardmessgeräte
Vakuum-Messgerät Controller
Vakuumschalter
Vakuumschalter DN16KF, 3m Kabel
Schaltpunkteinstellung für VSC150
Reservoir
Handsensor
Transpector