| Marke | Inficon |
| Produkt | 351-999 |
| Beschreibung | Wartungssatz |
| Interner Code | IMP4676201 |
| Technische Spezifikation | MPG400 |
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6 MHz Gold, in clean-room compatible dispenser
Schüffelspitze
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Schnüffelsonde
Durchflusssensor (Mikroschalter)
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